Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6183| Название: | Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
| Авторы: | Чистоедова, Инна Анатольевна |
| Научный руководитель: | Смирнов, Серафим Всеволодович |
| Ключевые слова: | химическая технология; тантал; тонкие пленки; получение; структура; свойства; оборудование; исследования; ионно-плазменное распыление; соединения тантала; модификация; авторефераты диссертаций |
| Дата публикации: | 2005 |
| Библиографическое описание: | Чистоедова И. А. Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. А. Чистоедова ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники; науч. рук.: С. В. Смирнов. — Томск, 2005. — 19 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6183 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2005-1.pdf | 418,42 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.