Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6262
Title: Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
Authors: Рябчиков, Игорь Александрович
metadata.dc.contributor.advisor: Усов, Юрий Петрович
Keywords: физика; плазма; ионные потоки; ионная имплантация; оборудование; методы; проводящие мишени; диэлектрические мишени; короткие потенциалы смещения; биполярные импульсы смещения; авторефераты диссертаций
Issue Date: 2006
Citation: Рябчиков И. А. Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. А. Рябчиков ; Томский политехнический университет; науч. рук. Ю. П. Усов. — Томск, 2006. — 21 с. : ил.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6262
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
thesis_tpu-2006-17.pdf498,96 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.