Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183| Название: | Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями |
| Авторы: | Блейхер, Галина Алексеевна Кривобоков, Валерий Павлович Сиделёв, Дмитрий Владимирович Грудинин, Владислав Алексеевич Попов, Р. В. |
| Ключевые слова: | самораспыление; магнетронные распылительные системы; металлические мишени; покрытия; осаждение |
| Дата публикации: | 2020 |
| Библиографическое описание: | Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, Д. В. Сиделёв [и др.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров : сборник научных трудов X Международной научно-практической конференции, г. Томск, 09 – 11 сентября 2020 г. — Томск : Ветер, 2020. — [С. 22]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C49_V1_p21-22.pdf | 569,5 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.