Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63824| Title: | Коррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий |
| Authors: | Ломыгин, Антон Лаптев, Роман Сергеевич Шулепов, Иван Анисимович |
| Keywords: | коррекция; профили; интенсивность; распыление; неравномерность; оптический спектрометр; тлеющие разряды; многослойные покрытия; магнетронное распыление; элементы; эрозия |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Ломыгин А. Коррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий / А. Ломыгин, Р. С. Лаптев, И. А. Шулепов // Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения : сборник научных трудов Международной научно-технической молодежной конференции, Томск, 21–25 сентября 2020 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2020. — [С. 51-52]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63824 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C125_p51-52.pdf | 605,34 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.