Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041| Title: | Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома |
| Authors: | Грудинин, Владислав Алексеевич Сиделёв, Дмитрий Владимирович Блейхер, Галина Алексеевна |
| Keywords: | высокоскоростное осаждение; магнетронное осаждение; покрытия; нитрид хрома; магнетронное распыление; работоспособность; мишени; плазма; реактивные газы |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Грудинин В. А. Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома / В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв, Г. А. Блейхер // Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XIII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 26-30 октября 2020 г. — Томск : Томский политехнический университет, 2020. — [С. 159-160]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64041 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C45_p159-160.pdf | 666,78 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.