Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634| Название: | Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 05.09.03 |
| Авторы: | Нечаев, Михаил Анатольевич |
| Научный руководитель: | Бекишев, Рудольф Фридрихович |
| Ключевые слова: | Магнетроны; Плазменное напыление — Физико-химические процессы; авторефераты диссертаций; магнетронные вакуумные установки; сканирование; электроприводы; системы управления; имитационное моделирование; разработка; экспериментальные исследования |
| Дата публикации: | 2010 |
| Библиографическое описание: | Нечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 05.09.03 / М. А. Нечаев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев. — Томск, 2010. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2010-91.pdf | 643,17 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.