Метод атомно-силовой микроскопии для исследования структуры и морфологии поверхности оксидных наноматериалов

Abstract

В процессе исследования проводились обзор литературы, посвященный современному состоянию применения атомно-силовой микроскопии для исследования анодного оксида алюминия; разработка методики обработки АСМ-изображений; исследование поверхности анодного оксида алюминия. В результате исследования установлено, что использование атомно-силовой микроскопии имеет актуальную повестку; использование различных методик обработки АСМ-изображений не всегда позволяют избежать дефектов и инородных объектов при сканировании образцов. Основные конструктивные, технологические и технико-эксплуатационные характеристики: разработанная методика обработки АСМ-изображений для исключения дефектов и инородных объектов.

In the course of the study, a literature review was carried out on the current state of the use of atomic force microscopy for the study of anodic aluminum oxide; development of a method for processing AFM images; investigation of the surface of anodic aluminum oxide. As a result of the study, it was found that the use of atomic force microscopy has an urgent agenda; the use of various methods for processing AFM images does not always allow avoiding defects and foreign objects when scanning samples. Main design, technological and technical and operational characteristics: developed method for processing AFM images to exclude defects and foreign objects.