Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152| Title: | Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий |
| Authors: | Грудинин, Владислав Алексеевич Рунц, А. А. Блейхер, Галина Алексеевна |
| Keywords: | плотность; мощность; магнетронные диоды; скорость; осаждение; фазовый состав; покрытия; реактивное магнетронное распыление; магнетронные распылительные системы; нитрид хрома |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Грудинин, В. А. Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий / В. А. Грудинин, А. А. Рунц, Г. А. Блейхер // Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XIV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 25-30 октября 2021 г. — Томск : Томский политехнический университет, 2021. — [С. 133-134]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2021-C45_p133-134.pdf | 600,38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.