Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70062| Title: | Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра |
| Authors: | Мельников, Евгений Сергеевич Мухаметкалиев, Тимур Мухамедрашидович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сурменев, Роман Анатольевич |
| Keywords: | плазма; ВЧ-разряды; распыление; мишени; зонды Ленгмюра; энергетические характеристики; покрытия; биосовместимые покрытия; пленки |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Мельников, Е. С. Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра / Е. С. Мельников, Т. М. Мухаметкалиев ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов II Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 22-23 мая 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 53]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70062 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C96_p53.pdf | 190,96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.