Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70075| Title: | Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра |
| Authors: | Мухаметкалиев, Тимур Мухамедрашидович Мельников, Евгений Сергеевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сурменев, Роман Анатольевич |
| Keywords: | отрицательное смещение; подложки; плазма; ВЧ-распыление; магнетронное распыление; зонды Ленгмюра |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Мухаметкалиев, Т. М. Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра / Т. М. Мухаметкалиев, Е. С. Мельников ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов II Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 22-23 мая 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 75]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70075 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C96_p75.pdf | 255,29 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.