Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/71787
Title: | Осаждение покрытий с МАХ-фазой из плазмы магнетронного разряда |
Authors: | Хохлова, Юлия Алексеевна |
metadata.dc.contributor.advisor: | Юрьев, Юрий Николаевич |
Keywords: | MAX-фаза; магнетронные распыление; планарный магнетрон; параметры осаждения; твёрдость; MAX-phase; magnetron sputtering; planar magnetron; deposition parameters; hardness |
Issue Date: | 2022 |
Citation: | Хохлова Ю. А. Осаждение покрытий с МАХ-фазой из плазмы магнетронного разряда : бакалаврская работа / Ю. А. Хохлова ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Отделение ядерно-топливного цикла (ОЯТЦ) ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев. — Томск, 2022. |
Abstract: | Объектом исследования является покрытие на основе MAX-фазы Ti-Al-C.
Цель работы – определить режимы магнетронного распыления для получения покрытия Ti3AlC2 в системе трех планарных магнетронов
В процессе исследования рассчитаны параметры, при которых элементный состав синтезированных покрытий (в системе трёх планарных магнетронов) совпадает с составом Ti3AlC2, получены данные о фазовом составе осаждённых покрытий до и после отжига в вакуумной печи, изучены их механические свойства (твёрдость и модуль Юнга). The object of the study is a coating based on the MAX-phase Ti-Al-C. The aim of the work is to determine the modes of magnetron sputtering to obtain a Ti3AlC2 coating in a system of three planar magnetrons During the study, the parameters were calculated at which the elemental composition of the synthesized coatings (in a system of three planar magnetrons) coincides with the composition of Ti3AlC2, data were obtained on the phase composition of the deposited coatings before and after annealing in a vacuum furnace, and their mechanical properties (hardness and Young's modulus) were studied. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/71787 |
Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU1369467.pdf | 2,18 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.