Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N

Гаранин, Ю. А.; Кузьминов, Е. Д.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72901

Title:	Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
Other Titles:	Influence of parameters of magnetron sputtering on microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings
Authors:	Гаранин, Ю. А. Кузьминов, Е. Д.
metadata.dc.contributor.advisor:	Шугуров, Артур Рубинович
Keywords:	магнетронное распыление; микроструктуры; механические свойства; покрытия
Issue Date:	2022
Publisher:	Томский политехнический университет
Citation:	Гаранин, Ю. А. Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N / Ю. А. Гаранин, Е. Д. Кузьминов ; науч. рук. А. Р. Шугуров // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — Т. 1 : Физика. — [С. 56-58].
Abstract:	The microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings obtained by DC and pulsed magnetron sputtering are investigated. It is shown that the coatings deposited in the pulsed regimes are characterized by denser mixed microstructure with columnar and equiaxed grains compared with the columnar DC coating. The changes in the microstructure are found to provide increased mechanical properties of the coatings obtained in the pulsed regimes.
URI:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72901
Appears in Collections:	Материалы конференций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
conference_tpu-2022-C21_V1_p56-58.pdf		257,14 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar