Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/75676
Title: | Теоретическое и экспериментальное исследование магнитной подсистемы планарного магнетрона |
Authors: | Зайцев, Даниил Дмитриевич |
metadata.dc.contributor.advisor: | Евдокимов, Кирилл Евгеньевич |
Keywords: | численное моделирование; магнитное поле; магнетронные распылительные системы; магнетроны; модель; измерение магнитного поля; numerical simulation; magnetic field; magnetron sputtering; magnetron; model; magnetic field measurement |
Issue Date: | 2023 |
Citation: | Зайцев Д. Д. Теоретическое и экспериментальное исследование магнитной подсистемы планарного магнетрона : бакалаврская работа / Д. Д. Зайцев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Отделение ядерно-топливного цикла (ОЯТЦ) ; науч. рук. К. Е. Евдокимов. — Томск, 2023. |
Abstract: | В работе проведено моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона. Разработан модуль для расчета магнитного поля системы с материалами, имеющими нелинейными магнитные характеристики. Проведена верификация модели не только на ряде физических задач с известным аналитическим решением, но и с использованием готового расчетного пакета Elcut. Проведено сравнение результатов численного моделирования с экспериментальными данными. Отличительной особенностью исследуемой модели от существующих является возможность расширения системы для решения связанных физических задач, а также полный доступ к используемым методам. The paper considers the simulation of the magnetic subsystem of a planar magnetron. A module has been developed for calculating the magnetic field of a system with materials that have non-linear magnetic characteristics. The module are usable for modeling complex physical tasks. The work also includes analysis and verification of results. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/75676 |
Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU1464314.pdf | 3,24 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.