Теоретическое и экспериментальное исследование магнитной подсистемы планарного магнетрона

Abstract

В работе проведено моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона. Разработан модуль для расчета магнитного поля системы с материалами, имеющими нелинейными магнитные характеристики. Проведена верификация модели не только на ряде физических задач с известным аналитическим решением, но и с использованием готового расчетного пакета Elcut. Проведено сравнение результатов численного моделирования с экспериментальными данными. Отличительной особенностью исследуемой модели от существующих является возможность расширения системы для решения связанных физических задач, а также полный доступ к используемым методам.

The paper considers the simulation of the magnetic subsystem of a planar magnetron. A module has been developed for calculating the magnetic field of a system with materials that have non-linear magnetic characteristics. The module are usable for modeling complex physical tasks. The work also includes analysis and verification of results.