Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76222
Title: | Исследование условий осаждения CrNx покрытий при магнетронном распылении горячей хромовой мишени в атмосфере аргона и азота |
Authors: | Дербин, Алексей Юрьевич |
metadata.dc.contributor.advisor: | Блейхер, Галина Алексеевна |
Keywords: | хромовые покрытия; магнетронное напыление; горячая хромовая мишень; сублимирующая мишень; высокоскоростное осаждение; chromium coatings; magnetron sputtering; chromium hot target; sublimating target; high-speed deposition |
Issue Date: | 2023 |
Citation: | Дербин А. Ю. Исследование условий осаждения CrNx покрытий при магнетронном распылении горячей хромовой мишени в атмосфере аргона и азота : магистерская диссертация / А. Ю. Дербин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Г. А. Блейхер. — Томск, 2023. |
Abstract: | Объект исследования – покрытия на основе нитрида хрома.
В процессе исследования были даны рекомендации рабочих параметров
метода высокоскоростного осаждения, при которых помимо увеличенной
скорости осаждения покрытий достигается приемлемая твердость получаемых
покрытий на основе нитрида хрома. The object of research is coatings based on chromium nitride. In this paper, recommendations were given for the operating parameters of the high-speed deposition method, in which, in addition to the increased deposition rate of coatings, an acceptable hardness of the obtained coatings based on chromium nitride is achieved. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76222 |
Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU1468803.pdf | 1,64 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.