1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Авторефераты и диссертации
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorНеустроев, Ефим Петровичru
dc.contributor.authorПрокопьев, Айсен Руслановичru
dc.date.accessioned2023-08-24T08:58:17Z-
dc.date.available2023-08-24T08:58:17Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationПрокопьев, А. Р. Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 / А. Р. Прокопьев ; Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова ; науч. рук. Е. П. Неустроев. — Томск, 2023.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectУглеродные пленки, тонкие — Получениеru
dc.subjectавторефераты диссертацийru
dc.subjectуглеродные пленкиru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectсинтезru
dc.subjectплазменное осаждениеru
dc.subjectотжигru
dc.subjectатомы углеродаru
dc.subjectплазма метанаru
dc.subjectаморфные гидрогенизированные пленкиru
dc.subjectтермообработкаru
dc.subjectинертные газыru
dc.subjectтвердотельные подложкиru
dc.subjectморфология поверхностиru
dc.subjectэлектрические свойстваru
dc.subjectоптические свойстваru
dc.subjectатомно-силовая микроскопияru
dc.subjectсканирующая электронная микроскопияru
dc.subjectрентгеновская энергодисперсионная спектроскопияru
dc.subjectспектроскопия комбинационного рассеяния светаru
dc.subjectультрафиолетовая спектроскопияru
dc.subjectинфракрасная спектроскопияru
dc.titleСинтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8ru
dc.typeThesisen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.filepaththesis_tpu-2023-35.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\retro\36734-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\27873-
local.localtypeАвтореферат диссертацииru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
thesis_tpu-2023-35.pdf764,01 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons