Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786| Название: | Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы |
| Авторы: | Воронина, Екатерина Дмитриевна |
| Научный руководитель: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Ключевые слова: | оксид иттрия; оптические характеристики; теплозащитные покрытия; оптические волноводы; ионы плазмы; аргон; кислород |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Воронина, Е. Д. Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы / Е. Д. Воронина ; науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 114-116. |
| Аннотация: | This study aims to identify the possibility of deposition of yttrium oxide coatings using reactive magnetron sputtering in the metallic mode. There is found that sputtering yttrium target in the metallic mode can be done using dual magnetron sputtering of yttrium and copper targets |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2023-C21_V1_p114-116.pdf | 717,42 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
