Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820| Название: | Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием |
| Авторы: | Осипова, Е. С. Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Научный руководитель: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Ключевые слова: | микротвёрдость; термостойкость; защитные покрытия; скорость осаждения; реактивные газы; магнетронное распыление; аргон; азот; плазменный генератор |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Осипова, Е. С. Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием / Е. С. Осипова, Д. В. Сиделёв ; науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 291-293. |
| Аннотация: | The article describes influence of flow rate of reactive gas (nitrogen) on deposition rate of CrAlN coatings and its structural properties in the case of magnetron sputtering of "hot" Cr and Al targets using a radio-frequency plasma source (RF-ICP). It is shown that the increase in the flow rate of nitrogen leads to the increase in hardness of deposited coatings due to formation of the nitride phases of CrN and AlN |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2023-C21_V1_p291-293.pdf | 894,83 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
