Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894| Title: | Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения |
| Authors: | Рябчиков, Александр Ильич Степанов, Игорь Борисович Сивин, Денис Олегович Додорин, Константин Юрьевич Шулепов, Иван Анисимович |
| Keywords: | физика; газоразрядная плазма; тлеющие разряды; формирование; полые катоды; высокочастотные напряжения; импульсные напряжения; использование |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения / А. И. Рябчиков [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2011. — № 1 (1). — [С. 72-76]. |
| Abstract: | Представлены закономерности формирования плазмы азота, аргона в полом катоде с объемом до 0,2…0,5 м3 с помощью короткоимпульсного 1…10 мкс высокочастотного 105 Гц напряжения до 3 кВ. Установлено, что, несмотря на импульсный характер напряжения, газовый разряд стабильно горит при давлении 0,1 Па и выше, величина тока разряда и концентрация плазмы возрастают при увеличении длительности импульса напряжения, амплитуды напряжения, общий ток разряда достигает 10 А, обеспечивая плотность ионного тока насыщения на изделия, помещенные в плазму до 0,5 мА/см2. Показана возможность осаждения сверхтвердого (45…50 ГПа) покрытия на основе нитрида титана внутри полого катода. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14894 |
| ISSN: | 2226-0064 |
| Appears in Collections: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.