Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927| Title: | Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур |
| Authors: | Воротилов, Константин Анатольевич Лучников, Петр Александрович Подгорный, Юрий Владимирович Серегин, Дмитрий Сергеевич |
| Keywords: | МДП-структуры; тонкие пленки; диэлектрическая проницаемость; изолирующие пленки; термические оксиды; краевой эффект; омический контакт |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур / К. А. Воротилов [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2011. — № 1 (1). — [С. 220-228]. |
| Abstract: | Представлена методика точных измерений диэлектрической проницаемости ? изолирующих пленок нанометровых толщин в МДП-структурах на основе нелинейной аппроксимации экспериментальных зависимостей эквивалентной емкости МДП-структуры от частоты. В диапазоне частот четырехэлементная модель хорошо отражает комплексный импеданс МДП-структуры в аккумуляции. Учитывается влияние краевой емкости. Метрологические характеристики методики подтверждены результатами измерения ? пленки термического оксида кремния толщиной ~80 нм на кремнии. Получено значение диэлектрической проницаемости 3,825 с погрешностью 1,2 % при случайной составляющей 0,13 %. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927 |
| ISSN: | 2226-0064 |
| Appears in Collections: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.