Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927
Название: | Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур |
Авторы: | Воротилов, Константин Анатольевич Лучников, Петр Александрович Подгорный, Юрий Владимирович Серегин, Дмитрий Сергеевич |
Ключевые слова: | МДП-структуры; тонкие пленки; диэлектрическая проницаемость; изолирующие пленки; термические оксиды; краевой эффект; омический контакт |
Дата публикации: | 2011 |
Издатель: | Томский политехнический университет |
Библиографическое описание: | Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур / К. А. Воротилов [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2011. — № 1 (1). — [С. 220-228]. |
Аннотация: | Представлена методика точных измерений диэлектрической проницаемости ? изолирующих пленок нанометровых толщин в МДП-структурах на основе нелинейной аппроксимации экспериментальных зависимостей эквивалентной емкости МДП-структуры от частоты. В диапазоне частот четырехэлементная модель хорошо отражает комплексный импеданс МДП-структуры в аккумуляции. Учитывается влияние краевой емкости. Метрологические характеристики методики подтверждены результатами измерения ? пленки термического оксида кремния толщиной ~80 нм на кремнии. Получено значение диэлектрической проницаемости 3,825 с погрешностью 1,2 % при случайной составляющей 0,13 %. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927 |
ISSN: | 2226-0064 |
Располагается в коллекциях: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
78.pdf | 759,33 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.