Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069| Название: | Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия |
| Авторы: | Клименов, Василий Александрович Мамонтов, Аркадий Павлович |
| Ключевые слова: | неразрушающий контроль; радиационный контроль; арсенид галлия; рентгеновское излучение; подложки; ионная имплантация; полупроводники; эпитаксия; сопротивление; стабильность |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Клименов В. А. Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия / В. А. Клименов, А. П. Мамонтов // Вестник науки Сибири. — 2012. — № 3 (4). — [С. 125-129]. |
| Аннотация: | Исследовано влияние характеристического рентгеновского излучения на полуизолирующий арсенид галлия, применяемый в качестве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем с помощью ионной имплантации и эпитаксии. Установлено, что изменение сопротивления при облучении позволяет получать информацию об однородности и термической стабильности пластин полуизолирующего арсенида галлия. Обсуждаются физические процессы, происходящие при облучении полуизолирующего арсенида галлия. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16069 |
| ISSN: | 2226-0064 |
| Располагается в коллекциях: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 326.pdf | 163,78 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.