Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438
Название: Magnetron sputtering system
Авторы: Lazarev, A. V.
Andreeva, M. A.
Smirnova, Uliana Aleksandrovna
Ключевые слова: магнетронное распыление; тонкопленочные покрытия
Дата публикации: 2015
Библиографическое описание: Lazarev A. V. Magnetron sputtering system / A. V. Lazarev, M. A. Andreeva, U. A. Smirnova // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 209-210].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2015-C49-178.pdf688,49 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.