Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438| Название: | Magnetron sputtering system |
| Авторы: | Lazarev, A. V. Andreeva, M. A. Smirnova, Uliana Aleksandrovna |
| Ключевые слова: | магнетронное распыление; тонкопленочные покрытия |
| Дата публикации: | 2015 |
| Библиографическое описание: | Lazarev A. V. Magnetron sputtering system / A. V. Lazarev, M. A. Andreeva, U. A. Smirnova // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 209-210]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C49-178.pdf | 688,49 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.