Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438| Title: | Magnetron sputtering system |
| Authors: | Lazarev, A. V. Andreeva, M. A. Smirnova, Uliana Aleksandrovna |
| Keywords: | магнетронное распыление; тонкопленочные покрытия |
| Issue Date: | 2015 |
| Citation: | Lazarev A. V. Magnetron sputtering system / A. V. Lazarev, M. A. Andreeva, U. A. Smirnova // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 209-210]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C49-178.pdf | 688,49 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.