Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399
Title: Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
Authors: Николаев, М. В.
Зайцев, Данила Александрович
metadata.dc.contributor.advisor: Юрьева, Алена Викторовна
Keywords: магнетронные системы; распылительные системы; жидкофазные катоды; тонкопленочные покрытия
Issue Date: 2015
Citation: Николаев М. В. Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом / М. В. Николаев, Д. А. Зайцев ; науч. рук. А. В. Юрьева // Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 193-200].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2015-C08-056.pdf521,68 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.