Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399
Название: Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
Авторы: Николаев, М. В.
Зайцев, Данила Александрович
Научный руководитель: Юрьева, Алена Викторовна
Ключевые слова: магнетронные системы; распылительные системы; жидкофазные катоды; тонкопленочные покрытия
Дата публикации: 2015
Библиографическое описание: Николаев М. В. Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом / М. В. Николаев, Д. А. Зайцев ; науч. рук. А. В. Юрьева // Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 193-200].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2015-C08-056.pdf521,68 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.