Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399| Название: | Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом |
| Авторы: | Николаев, М. В. Зайцев, Данила Александрович |
| Научный руководитель: | Юрьева, Алена Викторовна |
| Ключевые слова: | магнетронные системы; распылительные системы; жидкофазные катоды; тонкопленочные покрытия |
| Дата публикации: | 2015 |
| Библиографическое описание: | Николаев М. В. Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом / М. В. Николаев, Д. А. Зайцев ; науч. рук. А. В. Юрьева // Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 193-200]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C08-056.pdf | 521,68 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.