Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399| Title: | Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом |
| Authors: | Николаев, М. В. Зайцев, Данила Александрович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Юрьева, Алена Викторовна |
| Keywords: | магнетронные системы; распылительные системы; жидкофазные катоды; тонкопленочные покрытия |
| Issue Date: | 2015 |
| Citation: | Николаев М. В. Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом / М. В. Николаев, Д. А. Зайцев ; науч. рук. А. В. Юрьева // Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 193-200]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C08-056.pdf | 521,68 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.