Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25875| Title: | Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС |
| Other Titles: | Dependence of titanium oxide deposition modes and parameters of magnetron system power supply |
| Authors: | Андреева, М. А. Юрьев, Юрий Николаевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Юрьев, Юрий Николаевич |
| Keywords: | оксид титана; источники питания; магнетронное распыление; магнетронные разряды |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Изд-во ТПУ |
| Citation: | Андреева М. А. Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС / М. А. Андреева, Ю. Н. Юрьев ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — Т. 1 : Физика. — [С. 43-45]. |
| Abstract: | The article gives a look on researches of various parameters influence (power sources, oxygen flow,the pressure in the chamber and so on) on the magnetron sputtering system work using the method of titanium sputtering in the atmosphere of oxygen. The use of different power sources influences on the deposition rate and film properties. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25875 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2016-C21_V1_p43-45.pdf | 515,38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.