Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55069
Title: Разработка электродных структур микромеханических сенсоров
Authors: Хмелёв, Владимир Андреевич
metadata.dc.contributor.advisor: Нестеренко, Тамара Георгиевна
Keywords: МЭМС - микроэлектромеханическая система; электродные структуры; гребенчатые структуры; электрическая емкость; краевые эффекты; MEMS; electrode structures; comb structures; electric capacity; edge effects
Issue Date: 2019
Citation: Хмелёв В. А. Разработка электродных структур микромеханических сенсоров : бакалаврская работа / В. А. Хмелёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа неразрушающего контроля и безопасности (ИШНКБ), Отделение электронной инженерии (ОЭИ) ; науч. рук. Т. Г. Нестеренко. — Томск, 2019.
Abstract: В ходе данной работы будут разработаны варианты электродных структур электростатических микромеханических систем, для которых различными методами будут рассчитаны емкости, проведено их сравнение и будут даны рекомендации по применению оптимальных методов расчета.
In the course of this work, variants of the electrode structures of electrostatic micromechanical systems will be developed, for which capacitances will be calculated using various methods, compared, and recommendations on the use of optimal calculation methods will be given.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55069
Appears in Collections:ВКР

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU737838.pdf2,67 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.