Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55069| Название: | Разработка электродных структур микромеханических сенсоров |
| Авторы: | Хмелёв, Владимир Андреевич |
| Научный руководитель: | Нестеренко, Тамара Георгиевна |
| Ключевые слова: | МЭМС - микроэлектромеханическая система; электродные структуры; гребенчатые структуры; электрическая емкость; краевые эффекты; MEMS; electrode structures; comb structures; electric capacity; edge effects |
| Дата публикации: | 2019 |
| Библиографическое описание: | Хмелёв В. А. Разработка электродных структур микромеханических сенсоров : бакалаврская работа / В. А. Хмелёв ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа неразрушающего контроля и безопасности (ИШНКБ), Отделение электронной инженерии (ОЭИ) ; науч. рук. Т. Г. Нестеренко. — Томск, 2019. |
| Аннотация: | В ходе данной работы будут разработаны варианты электродных структур электростатических микромеханических систем, для которых различными методами будут рассчитаны емкости, проведено их сравнение и будут даны рекомендации по применению оптимальных методов расчета. In the course of this work, variants of the electrode structures of electrostatic micromechanical systems will be developed, for which capacitances will be calculated using various methods, compared, and recommendations on the use of optimal calculation methods will be given. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55069 |
| Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| TPU737838.pdf | 2,67 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.