Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873
Title: Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением
Other Titles: Optical properties of nitrogen doped titanium oxide films, deposited using magnetron sputtering
Authors: Чжилэй Сунь
Конищев, Максим Евгеньевич
metadata.dc.contributor.advisor: Пичугин, Владимир Федорович
Keywords: оптические свойства; пленки; оксид титана; магнетронное распыление; оптические свойства; легирование; покрытия; осаждение
Issue Date: 2019
Publisher: Изд-во ТПУ
Citation: Чжилэй Сунь. Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением / Чжилэй Сунь, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 388-390].
Abstract: In this paper we present the results of investigation of optical properties of nitrogen doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering. The influence of reactive atmosphere and post annealing on refractive index, transmittance and band gap energy has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized by maximum of deposition rate and minimum of refractive index. N-induced band gap narrowing has been observed and the minimum band gap energy was found to be 2.87 eV for annealed TiON 1.5-1 film.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2019-C21_V1_p388-390.pdf299,49 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.