Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873| Название: | Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением |
| Другие названия: | Optical properties of nitrogen doped titanium oxide films, deposited using magnetron sputtering |
| Авторы: | Чжилэй Сунь Конищев, Максим Евгеньевич |
| Научный руководитель: | Пичугин, Владимир Федорович |
| Ключевые слова: | оптические свойства; пленки; оксид титана; магнетронное распыление; оптические свойства; легирование; покрытия; осаждение |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издатель: | Изд-во ТПУ |
| Библиографическое описание: | Чжилэй Сунь. Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением / Чжилэй Сунь, М. Е. Конищев ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 388-390]. |
| Аннотация: | In this paper we present the results of investigation of optical properties of nitrogen doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering. The influence of reactive atmosphere and post annealing on refractive index, transmittance and band gap energy has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized by maximum of deposition rate and minimum of refractive index. N-induced band gap narrowing has been observed and the minimum band gap energy was found to be 2.87 eV for annealed TiON 1.5-1 film. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2019-C21_V1_p388-390.pdf | 299,49 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.