Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20472
Title: | Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N |
Authors: | Пузанова, К. С. Божко, Ирина Александровна Калашников, Марк Петрович |
metadata.dc.contributor.advisor: | Сергеев, Виктор Петрович |
Keywords: | структурно-фазовые состояния; керамические покрытия; нанокомпозитные покрытия; нитрид кремния; алюминий; магнетронные напыления |
Issue Date: | 2014 |
Citation: | Пузанова К. С. Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N / К. С. Пузанова, И. А. Божко, М. П. Калашников ; науч. рук. В. П. Сергеев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 977-979]. |
Abstract: | Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride ?-Si3N4 in their compound. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20472 |
Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2014-C21-330.pdf | 160,62 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.