Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20472
Название: | Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N |
Авторы: | Пузанова, К. С. Божко, Ирина Александровна Калашников, Марк Петрович |
Научный руководитель: | Сергеев, Виктор Петрович |
Ключевые слова: | структурно-фазовые состояния; керамические покрытия; нанокомпозитные покрытия; нитрид кремния; алюминий; магнетронные напыления |
Дата публикации: | 2014 |
Библиографическое описание: | Пузанова К. С. Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N / К. С. Пузанова, И. А. Божко, М. П. Калашников ; науч. рук. В. П. Сергеев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 977-979]. |
Аннотация: | Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride ?-Si3N4 in their compound. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20472 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2014-C21-330.pdf | 160,62 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.