Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686| Title: | Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия |
| Authors: | Ловицкий, А. А. |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Капранов, Борис Иванович |
| Keywords: | толщинометрия; карбидокремниевые покрытия; толщина; покрытия |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Изд-во ТПУ |
| Citation: | Ловицкий А. А. Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия / А. А. Ловицкий ; науч. рук. Б. И. Капранов // Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность : сборник трудов V Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых учёных, Томск, 25-29 мая 2015 г. : в 2 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — Т. 1. — [91-94]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C36-V1-025.pdf | 482,33 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.