Исследование алюминиевых покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью

Abstract

В данной работе проводилось исследование алюминиевых покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы (МРС) с жидкофазной мишенью. Цель работы – оценка влияния режимов работы и материалов тиглей МРС с жидкофазной мишенью на свойства тонкопленочных алюминиевых покрытий. В процессе исследования проводилось: осаждение алюминиевых пленок с помощью МРС с жидкой мишенью; измерение температур мишени и тиглей; определение влияния режима на скорость осаждения; определение зависимости скорости осаждения от мощности разряда; измерение адгезионной прочности и шероховатости поверхности; проведение рентгеноструктурного анализа; измерение коэффициента отражения.

In this work, a study was conducted of aluminum coatings obtained by magnetron sputtering system with a liquid-phase target. Purpose - assessment of the impact of operating modes and materials of crucibles MSS with liquid phase target on the properties of thin-film coatings of aluminum. The study was carried out: deposition of aluminum films by MSS with the liquid target; measurement of the target temperature and the crucibles; determine the impact of the regime on the deposition rate; depending on the definition of the rate of deposition of discharge capacity; measurement of the adhesive strength and roughness; carrying out X-ray analysis; measuring the reflection coefficient.