Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874| Title: | Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления |
| Authors: | Сергеев, Виктор Петрович Федорищева, М. В. Сунгатулин, А. Р. Никалин, А. Ю. Нейфельд, В. В. |
| Keywords: | магнетронное осаждение; ионная бомбардировка; покрытия; нитриды; кремний; алюминий; термостойкость; фазовый состав; термомеханические свойства; атомно-силовая микроскопия; рентгеноструктурный анализ; термоциклическая стойкость |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления / В. П. Сергеев [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2011. — Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика. — [С. 103-108]. |
| Abstract: | Методом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874 |
| ISSN: | 1684-8519 |
| Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2011-319-2-22.pdf | 4,34 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.