Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39531
Title: | Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления |
Authors: | Цяо Цзинвэнь |
metadata.dc.contributor.advisor: | Кашкаров, Егор Борисович |
Keywords: | никелевое покрытие; равномерность; циркониевый сплав; кремний; измерение толщины; nickel coating; uniformity; zirconium alloy; silicon; thickness measurement |
Issue Date: | 2017 |
Citation: | Цяо Цзинвэнь Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления : бакалаврская работа / Цяо Цзинвэнь ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Институт социально-гуманитарных технологий (ИСГТ), Кафедра междисциплинарная (МД) ; Физико-технический институт (ФТИ ТПУ) ; Кафедра общей физики (ОФ) ; науч. рук. Е. Б. Кашкаров. — Томск, 2017. |
Abstract: | В этой работе представлены результаты измерения толщины никелевых покрытий. Никелевые покрытия были нанесены на сплавах циркония Zr-1Nb и Si методом магнетронного распыления. Толщина никелевых покрытий измерена методом сканирующей электронной микроскопии (SEM), методом шарового истирания и неразрушающим методом рентгеновской дифракции. In this paper, the results of measurements of nickel coating thickness are presented. Ni coatings were deposited onto zirconium alloy Zr-1Nb and Si wafers by magnetron sputtering. The thickness of Ni coatings was measured by scanning electron microscopy (SEM), ball abrasion method and the developed non-destructive XRD method. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39531 |
Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU389747.pdf | 1,27 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.