Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39531
Название: | Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления |
Авторы: | Цяо Цзинвэнь |
Научный руководитель: | Кашкаров, Егор Борисович |
Ключевые слова: | никелевое покрытие; равномерность; циркониевый сплав; кремний; измерение толщины; nickel coating; uniformity; zirconium alloy; silicon; thickness measurement |
Дата публикации: | 2017 |
Библиографическое описание: | Цяо Цзинвэнь Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления : бакалаврская работа / Цяо Цзинвэнь ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Институт социально-гуманитарных технологий (ИСГТ), Кафедра междисциплинарная (МД) ; Физико-технический институт (ФТИ ТПУ) ; Кафедра общей физики (ОФ) ; науч. рук. Е. Б. Кашкаров. — Томск, 2017. |
Аннотация: | В этой работе представлены результаты измерения толщины никелевых покрытий. Никелевые покрытия были нанесены на сплавах циркония Zr-1Nb и Si методом магнетронного распыления. Толщина никелевых покрытий измерена методом сканирующей электронной микроскопии (SEM), методом шарового истирания и неразрушающим методом рентгеновской дифракции. In this paper, the results of measurements of nickel coating thickness are presented. Ni coatings were deposited onto zirconium alloy Zr-1Nb and Si wafers by magnetron sputtering. The thickness of Ni coatings was measured by scanning electron microscopy (SEM), ball abrasion method and the developed non-destructive XRD method. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39531 |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU389747.pdf | 1,27 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.