Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39792| Title: | Изменение оптических и электрических характеристик плёнок оксида олова под действием ионов аргона |
| Authors: | Теменков, Владимир Сергеевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Умнов, Сергей Павлович |
| Keywords: | магнетронная распылительная система; ионный пучок; оксид олова; коэффициент пропускания; поверхностное сопротивление; ренгенофазный состав; прозрачный проводящий оксид; tin oxide; ion beam; transmittance; surface resistance; transparent conductive oxide; X-ray Diffraction |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Теменков В. С. Изменение оптических и электрических характеристик плёнок оксида олова под действием ионов аргона : магистерская диссертация / В. С. Теменков ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. С. П. Умнов. — Томск, 2017. |
| Abstract: | Тонкие пленки оксида олова были осаждены на стеклянные подложки при комнатной температуре с помощью реактивного магнетронного распыления при различных парциальных давлениях кислорода. После осаждения пленки подвергались облучению пучком ионов аргона. Было изучено изменение оптических и электрических свойств пленок в зависимости от времени облучения. Thin films of tin oxide were deposited on glass substrates at room temperature by reactive magnetron sputtering at various partial oxygen pressures. After deposition, the films were irradiated with a beam of argon ions. The change in the optical and electrical properties of the films as a function of the irradiation time was studied. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39792 |
| Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| TPU395267.pdf | 2,41 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.