Изменение оптических и электрических характеристик плёнок оксида олова под действием ионов аргона

Abstract

Тонкие пленки оксида олова были осаждены на стеклянные подложки при комнатной температуре с помощью реактивного магнетронного распыления при различных парциальных давлениях кислорода. После осаждения пленки подвергались облучению пучком ионов аргона. Было изучено изменение оптических и электрических свойств пленок в зависимости от времени облучения.

Thin films of tin oxide were deposited on glass substrates at room temperature by reactive magnetron sputtering at various partial oxygen pressures. After deposition, the films were irradiated with a beam of argon ions. The change in the optical and electrical properties of the films as a function of the irradiation time was studied.