Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706| Title: | Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge) |
| Authors: | Золкин, А. С. Семерикова, А. И. |
| Keywords: | имплантация ионов; пропан; адгезия; пленки; германий; углеродные пленки; покрытия; оптика; оптические свойства; твердость; наноиндентирование; ионные пучки |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Золкин А. С. Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge) / А. С. Золкин, А. И. Семерикова // Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 240-242]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2017-C39_p240-242.pdf | 303,07 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.