Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706| Название: | Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge) |
| Авторы: | Золкин, А. С. Семерикова, А. И. |
| Ключевые слова: | имплантация ионов; пропан; адгезия; пленки; германий; углеродные пленки; покрытия; оптика; оптические свойства; твердость; наноиндентирование; ионные пучки |
| Дата публикации: | 2017 |
| Библиографическое описание: | Золкин А. С. Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge) / А. С. Золкин, А. И. Семерикова // Современные технологии и материалы новых поколений : сборник трудов Международной конференции с элементами научной школы для молодежи, г. Томск, 9-13 октября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 240-242]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2017-C39_p240-242.pdf | 303,07 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.