Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925| Title: | Сильноточное магнетронное распыление Al мишени |
| Authors: | Грудинин, Владислав Алексеевич Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | магнетронное распыление; сильноточное распыление; мишени; тонкопленочные покрытия; ионно-плазменные установки; теплопроводность; алюминий; плазма; осаждение |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Грудинин В. А. Сильноточное магнетронное распыление Al мишени / В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 286-287]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2018-C125_p286-287.pdf | 330,26 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.