Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67247| Title: | Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы |
| Authors: | Гусс, Людмила Евгеньевна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | магнетронная дуальная распылительная система; карбид титана; функциональные свойства; структурные свойства; износостойкое покрытие; magnetron dual sputtering system; titanium carbide; functional properties; structural properties; wear-resistant coating |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Гусс Л. Е. Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : магистерская диссертация / Л. Е. Гусс ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2021. |
| Abstract: | Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. В процессе исследования были получены данные о влиянии мощности магнетрона на структурные и функциональные свойства карбида титана. Были определены оптимальные режимы для получения карбида титана с составом, наиболее близким к стехиометрическому. Sputtering of titanium carbide films using a dual magnetron sputtering system. In the course of the study, data were obtained on the effect of the power of the magnetron on the structural and functional properties of titanium carbide. Optimal conditions for obtaining titanium carbide with a composition closest to stoichiometric were determined. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67247 |
| Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| TPU1168063.pdf | 1,35 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.