Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284| Название: | Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 |
| Авторы: | Сунь Чжилэй |
| Научный руководитель: | Пичугин, Владимир Федорович |
| Ключевые слова: | Пленки тонкие — Получение; Пленки тонкие — Структура; диссертации; закономерности; формирование; оксинитриды титана; магнетронное распыление; структурные особенности; тонкие пленки; оксиды титана; биомедицинское применение; осаждение; плазма; кристаллические структуры; преломление; фазовый состав; шероховатости; отжиг; молекулярный состав; смачивание; спектроскопия; термическая обработка; фотокаталитическая активность |
| Дата публикации: | 2020 |
| Библиографическое описание: | Сунь Чжилэй. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07 / Сунь Чжилэй ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2020. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| dis00392.pdf | 7,68 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
