Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/50947
Title: О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок
Other Titles: About influence of deposition conditions on mechanical and optical properties of silicon-carbon film
Authors: Гренадёров, А. С.
metadata.dc.contributor.advisor: Соловьёв, А. А.
Keywords: осаждение; механические свойства; оптические свойства; кремний-углеродные пленки; давление; аргон
Issue Date: 2018
Publisher: Издательский Дом Томского государственного университета
Citation: Гренадёров А. С. О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок / А. С. Гренадёров ; науч. рук. А. А. Соловьёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2018 г. : в 7 т. — Томск : Издательский Дом Томского государственного университета, 2018. — Т. 1 : Физика. — [С. 102-104].
Abstract: The a-C:H:SiOx films was deposited on glass substrates by plasma-assisted chemical vapor deposition combined with pulsed bipolar substrate bias from mixtures of argon and polyphenylmethylsiloxane vapor. Optical properties of a-C:H:SiOx films were investigated and studied using the transmission spectrum T(lambda) in visible range 300-800 nm. It is shown that integrat ed transparency of a-C:H:SiOx films in visible range from 380-780 nm is 70-89%, band gap is 2,3-2,6 eV, band tail width or Urbach energy is 547-718 meV depend on deposition conditions.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/50947
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2018-C21_V1_p102-104.pdf321,37 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.