Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/50947| Title: | О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок |
| Other Titles: | About influence of deposition conditions on mechanical and optical properties of silicon-carbon film |
| Authors: | Гренадёров, А. С. |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Соловьёв, А. А. |
| Keywords: | осаждение; механические свойства; оптические свойства; кремний-углеродные пленки; давление; аргон |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Издательский Дом Томского государственного университета |
| Citation: | Гренадёров А. С. О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок / А. С. Гренадёров ; науч. рук. А. А. Соловьёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2018 г. : в 7 т. — Томск : Издательский Дом Томского государственного университета, 2018. — Т. 1 : Физика. — [С. 102-104]. |
| Abstract: | The a-C:H:SiOx films was deposited on glass substrates by plasma-assisted chemical vapor deposition combined with pulsed bipolar substrate bias from mixtures of argon and polyphenylmethylsiloxane vapor. Optical properties of a-C:H:SiOx films were investigated and studied using the transmission spectrum T(lambda) in visible range 300-800 nm. It is shown that integrat ed transparency of a-C:H:SiOx films in visible range from 380-780 nm is 70-89%, band gap is 2,3-2,6 eV, band tail width or Urbach energy is 547-718 meV depend on deposition conditions. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/50947 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2018-C21_V1_p102-104.pdf | 321,37 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.