Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57739| Название: | Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi |
| Авторы: | Luchin, A. V. Krukovskii, K. V. Kashin, O. A. |
| Ключевые слова: | формирование; покрытия; подложки; магнетронное распыление; кремний |
| Дата публикации: | 2019 |
| Библиографическое описание: | Luchin A. V. Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi / A. V. Luchin, K. V. Krukovskii, O. A. Kashin // Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) : 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2019. — [С. 190]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57739 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2019-C108_p190.pdf | 621,89 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.